F-Theta linsur eru almennt notaðar í tengslum við galvanómetra skönnunarspegla í leysigeislaskurði, skurði og merkingarkerfum. Venjulega er F-Theta röskun linsunnar haldin minni en 1% svo hún geti framleitt nákvæman punkt á sléttu sviði myndfletisins.
Þvermálsþol: +0/-0,13 mm
Þykktarþol: ± 0,25 mm
Þol á brennivídd: ±2%
Breytileiki í brúnþykkt (ETV): ≤3 boga lágmark.
Tær ljósop: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Yfirborðsgæði: 40-20 SD
AR húðun: R <0,2% á yfirborð @ 10,6μ