Hraðvirk 163 mm F-theta skannlinsa | 94x94 mm merkingarsvæði fyrir hraða leysigeislaskurð og lotuvinnslu
Þessi 163 mm EFL F-theta linsa er hönnuð fyrir háhraða leysimerkingu og skilar hraðri og nákvæmri merkingu yfir 94x94 mm svæði, sem gerir hana tilvalda fyrir lotuvinnslu og framleiðslulínuforrit. Bjartsýni sjónræn hönnun lágmarkar skönnunarröskun og hámarkar afköst án þess að skerða gæði.